日期：2007-07-11 来源：

         为什么每个生产微机电系统芯片的公司似乎都得有一位MEMS专家？Mary Ann Maher认为，原因是目前的电子设计自动化工具没有内置MEMS功能。她创建的SoftMEMS公司有望改变这一现状，该公司的目标是在EDA软件中增加MEMS功能，从而减轻对MEMS专家的依赖性。 

         “我们的工具可以用来在现有EDA软件中增加MEMS设计功能。”Maher表示，“在价值链中的某个地方总会有个MEMS专家，但我们能让这些专家与电子工程师一起参与共同设计。对于已经设计好的MEMS部件，我们的工具能够帮助电子工程师用好相关的知识产权(IP)，而无需拥有很深的MEMS专业知识。” 

         SoftMEMS工具套件有两种，一种是用于Unix和HP平台的MEMS Xplorer，另一种是用于Linux PC平台的MEMS Pro，它们都可以作为Cadence、Mentor Graphics、Sysnopsys等公司提供的EDA软件的插件使用。这些工具可增加MEMS专属菜单，实现混合的MEMS/IC原理图输入和仿真、掩膜版图和验证、三维模型产生和可视化、行为级模型创建，以及链接到各种MEMS分析包，例如IntelliSense软件公司的IntelliSuite和Coventor公司的CoventorWare。 

        “EDA供应商并没有真正能专门用于MEMS设计的工具。SoftMEMS则专注于增加专门用于MEMS的设计工具。”Gartner Dataquest公司负责半导体制造调研的副总裁Jim Walker分析道，“IntelliSense和Coventor专门用于MEMS设计分析，虽然它们与SoftMEMS在功能上存在一些重叠，但我们并不认为它们与SoftMEMS存在直接竞争的关系。” 

        通过在现有EDA工具组件中集成自己的工具，SoftMEMS声称处于无可替代的位置，可以帮助电子工程师在他们熟悉的EDA平台上协同设计电子和MEMS芯片。SoftMEMS工具允许电子工程师使用来自Ansys等公司的通用建模和仿真工具，但电子工程师也可以选用IntellliSense或Coventor的MEMS专用分析工具。后面两家公司提供的产品基于的是美国麻省理工学院(MIT)电子工程教授Stephen Senturia于20世纪90年代创建的先进MEMS分析工具。 

        “IntelliSense和Coventor都起源于MIT的Senturia教授的实验室。”IntelliSense公司首席执行官Sandeep Akkaraju表示，“最近我们正与SoftMEMS展开紧密合作，以确保我们的MEMS分析、建模和仿真工具能与他们的设计工具一起协调工作。我们提供一套完整的MEMS工具集，用户可以使用我们的EDA Linker在VHDL、Simulink或Spice中创建元件模型，不过现在我们也与SoftMEMS合作。”