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东机美(TOKIMEC)在“第18届微机械/MEMS展”(2007年7月25~27日于东京有明国际会展中心举行)上展出了陀螺与加速度复合传感器的评测工具。该公司利用MEMS技术开发制造复合传感器,但开面向用户提供评测工具尚属首次。“样品供货刚于近期开始”(东机美)。除了ITS、车辆控制等车载用途外,还考虑将其应用于需要进行姿态检测及控制的铁路、船舶、建筑机械等领域。
东机美开发出了集成有控制电路的二个ASIC,并缩小了评测工具的尺寸,实现了样品供货。东机美此前试制的评测工具是由10块印刷底板组成。新评测工具只需1块。传感器利用了转子,能够检测2轴角速度和3轴加速度。
复合传感器还有复数个加速度传感器加一个陀螺传感器的方法。而东机美此次推出的使用转子的复合传感器可以利用1个传感器元件检测角速度和加速度,便于实现小型化和低价化。灵敏度高也是其一大特征,角速度检测的灵敏度为0.01deg/s,加速度检测的灵敏度为1.96×10-3m/s2。
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