日期：2007-09-10 来源：

        本报讯第五届中国国际集成电路博览会期间，中国科学院院士、中国半导体行业协会副理事长、上海半导体行业协会理事长邹世昌在参加了格兰达半导体装备报告会后，在董事长林宜龙陪同下参观了格兰达展位。邹院士在充分肯定格兰达后，更给格兰达献言献策，对格兰达半导体装备产业化基地寄予厚望。  

　　邹院士说：“目前，就国内半导体产业来说，我们的装备、材料和核心技术基本上都是从国外进口的，这就需要我们在半导体自主创新方面加大力度。而我们现在急需要做的是消化和吸收这些技术，通过消化吸收来避免重复引进。同时，在消化的基础上通过自主创新来形成自己的知识产权和技术队伍，实现各种设备自主研发和国产化。”  

　　就如何进行自主创新方面，邹院士表示，半导体行业自主创新空间很大，企业和科研机构必须共同承担责任，建立起以企业为主体、市场为导向、产学研结合的创新模式。以产为主，把科研放到产业里做，实现产业化。要避免先做科研，等成果出来了，再放到产业里面应用这种科研和生产脱节的情况。他希望科研机构和科研人员在科研时要定位到产业里面去，让客户成为检验科研机构科研成果的检验人。  

　　在谈到我国半导体装备发展上，邹院士语重心长地对林宜龙说：“在半导体装备产业化方面，我们和日本差不多同时起步，但我们走了很多弯路，这点我是深有感触的，我现在是结合自身的经历讲给你们听，希望你们不要再走弯路。”  

　　最后，邹院士对格兰达提出殷切期望。他说：“我做了几十年的半导体研究，我们科研所也研究了很多新产品，但都面临着一个问题，就是有很多设备我们在实验室能做，但不能放到生产线上去大批量生产。正如我在参加你们报告会上所说的，在做半导体设备上，只要认真去做，就肯定能做好，要在生产线上大批量的做，形成产业化。国内半导体设备在稳定性、实用性和可靠性这个问题上一直没有解决，希望你们能够努力把这一难题解决。”