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AlGaN/GaN HFET导通电阻降至50mΩ·cm2
日期:2007-10-12 来源:

      丰田中央研究所和丰田汽车的研究小组日前试制出了导通电阻降至50mΩ·cm2、可实现常关(Normally Off)工作的AlGaN/GaN HFET。原来的HFET的导通电阻为8500mΩ·cm2,新试制品的导通电阻约为原产品的1/170。
  
  作为混合动力车的
电源|稳压器电路使用的开关元件,该研究小组较为关注GaN类半导体元件,并一直在进行研发。目前,这种元件使用的是基于硅的IGBT。如果使用GaN类半导体,导通电阻将比Si类元件更低,并有望实现高耐压元件。低导通电阻有利于降低损失,而高耐压则有利于提高输出功率。
  
  混合动力车的电源电路使用的
开关元件,除低导通电阻及高耐压之外,还要求停止电路工作时实现不处于开放状态的常关工作。此前曾试制出可常关工作的AlGaN/GaN HFET,但导通电阻非常高。
  
  此次能够降低导通电阻的原因是,将
电子输送层——二维电子气层形成区域的杂质浓度降到了5×1017cm-3,比原产品的3×1019cm-3降低了近两个数量级。通过降低杂质浓度,可以提高电子迁移率,从而降低导通电阻。此外,在p型GaN层的上层,还设置了使p型GaN层的镁难以扩散的AlN层。这样,减少了二维电子气层形成区域的杂质浓度。导入p型GaN层的主要目的是控制电子流、提高耐压,以实现常关工作。

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