欧姆龙建200mm生产线制造MEMS元器件

日期：2007-12-17

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　　欧姆龙在位于滋贺县野洲市的子公司欧姆龙半导体内建造了用于制造MEMS部件的200mm生产线, 进行自主产品的开发及量产。计划2008年4月开始量产MEMS麦克风，之后陆续开始生产RF MEMS开关及压力传感器等需求有望扩大的MEMS元器件。预定2008年度内使生产规模达到约1000枚/月。
　　
　　此前该公司一直利用125mm生产线来生产MEMS部件。为了满足不断增加的需求以及增强价格竞争力，该公司认为必须扩大生产规模、降低制造成本，因此加大了晶圆的直径。目前已经导入蚀刻装置及成膜装置等用于形成三维结构体的设备。顺便说一句，欧姆龙半导体此前曾在日本国内利用200mm晶圆量产过半导体元器件。今后将开发生产类似集成有MEMS和电子电路的芯片那样的、只生产半导体元器件或只生产MEMS元器件的厂商所无法生产的产品。

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