日期：2008-01-16 来源：

　　晶圆代工大厂台积电(TSMC)宣布已可针对90纳米、80纳米及65纳米等先进制程，提供多层综合光罩(Multi-layer Mask，MLM)服务。台积电表示，此新推出的先进制程MLM服务，加上既有的晶圆共乘服务(CyberShuttle)及全光罩投产(normal production tape-out)，可提供客户在进行产品试制时最大的弹性。该MLM服务特别适合用于产品试制或小量生产，可为客户带来更高的效益。

　　台积电的先进制程MLM服务，是将多个等级相同光罩层上的电路图案放在同一个光罩板上，能够减少光罩的数量，降低光罩总成本。该公司也特别开发了一套晶圆厂内部自动化信息系统，管理光罩的处理以及芯片制造的生产流程，使得不论是采用这一先进制程MLM服务或是全光罩投产的客户产品，其制程验证及质量验证标准都完全相同。

　　台积电策略暨服务营销处陈承康资深处长表示，该先进制程MLM服务能够将四层不同光罩整合至同一片光罩板上，在成本相对于效能的考虑上，得到一个理想的比例。由于节省了光罩费用，因此客户能够以较低的一次性工程费用(NRE)采用先进制程生产产品。