用于太阳能电池制程的半导体激光器

日期：2008-03-18

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　　LIMO公司的激光模块LIMO350-L12x0.1-DL808-EX420，首次直接把半导体线状激光器应用于太阳能电池薄膜玻璃基底中。该模块提供350W功率，具有高功率密度和高度均匀化功率分布。使其能处理生长在硅基底上的C-Si。与传统的准分子激光器相比，其具有紧凑封装（12mm x 0.1 mm）、免维护、低价格和短处理时间等优点。

　　该模块还可以得到更长的线状输出，标准化的结构可以缩放线长度，例如：可以很快得到一个300 mm来减少处理时间和在当前的技术中非常经济方案。LIMO可以做到在12 mm的线条上输出1.5 kW的激光，功率密度高达130 kW/cm²，使其能在处理半导体芯片制程中减少缺失。

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