日期：2015-02-10 来源：

　　利用在水晶元器件制造领域的独特技能，Epson Toyocom开发出了小型、高性能的水晶压力传感器，它同样采用了其独创的QMEMS技术制造出的压力传感结构，以此开发出具有±10帕(约一万分之一气压)的高精度与0.1帕的高分辨能力、且体积仅为12.5ml(重量为15g)的小型水晶绝对压力传感器，它的压力测量范围为50～150k帕。Epson Toyocom预定在2009年度进行商品化生产。

　　压力传感器在通常情况下遇到的技术挑战是：小型化时会造成性能下降；追求高性能时又不得不增大构造。Epson Toyocom通过在压力检测单元采用音叉型晶体单元，由此可以得到稳定度高的振荡频率，从而实现了具有高精度及高分辨能力的水晶压力传感器。

　　在此之上又使用QMEMS技术开发出独创的压力传感构造，使其同时具有小型及高性能，从而有效地克服了目前业界遇到的这二大挑战。

　　QMEMS水晶压力传感器的主要应用包括：1）气象观测中大气压的高精度测试；2）大气压变化的高低差(以约1cm为单位的高度)测试；3）测试室内门窗等开关而造成的微小的内部压力变化，基于这一原理的家庭防盗系统绝对是窃贼无法破解的。