日期：2015-02-10 来源：

        为元件成本及特性的改观提供有力支撑的是SiC底板。SiC底板已显露出品质提高、价格下降的迹象。

　　比如在品质的提高上，“中空贯通缺陷”（即微管，只要有1个缺陷就会使元件无法发挥功能）在难度较高的4英寸底板上几乎不出现了。

　　而作为最大课题的价格也出现下降征兆。原因是底板厂商的增加。目前，主流的3英寸底板在高品质时为30万～50万日元。与Si底板相比，SiC不仅直径小，而且价格也要高1位数以上。4英寸底板在几乎无微管时“为5000美元左右”（Cree销售及市场营销负责人）。而微管存在密度为5个/cm2以下时，普及价位的4英寸底板就会降到1000美元以下。

　　SiC底板的价格居高不下，其原因之一是Cree几乎一直在垄断供应功率元件使用的高品质底板。“在SiC底板市场上，包括LED元件用底板在内，Cree约占整体的60％，从功率元件用底板来看，份额更是高达85～90％”（法国调查公司Yole Developpement）。

　　不过，这一状态将发生变化。这是因为可提供优质SiC底板的厂商已经出现。作为有望成为第二供应商的企业，技术人员对德国SiCrystal和新日本制铁寄予了厚望。

　　Cree的底板在直径4英寸下几乎没有微管，微管以外的位错※等缺陷密度也较低，“所有产品平均价格约为5000个/cm2”（Cree销售及市场营销负责人）。

　　而前述两公司的品质均已接近这一水平。SiCrystal已投产几乎不存在微管缺陷的3英寸底板。微管的存在密度大多在3个/cm2以下，位错密度约为2万个/cm2。尽管价格因订购数量而异，不过“3英寸底板基本在20万日元左右”（该SiCrystal的日本销售代理商）。另外，SiCrystal已开始着手加大直径，力争2009年以后供应4英寸底板。

　　新日本制铁正在样品供货微管存在密度为1个/cm2以下的4英寸底板。位错密度“约为数千～数万个/cm2”（该公司）。价格“与其他公司相当”（该公司）。最早在2009年内开始开展业务。届时，“将以3～4英寸底板为中心”（该公司）。

　　不仅仅是上述两公司，以东丽道康宁为首，其他厂商也已开始供应底板。其中还包括一家中国厂商——北京天科合达蓝光半导体（Tanke Blue Semiconductor）。对此，业内人士充满期待：“中国厂商开始涉足底板业务。这将加快SiC底板价格的下降”（多名SiC元件技术人员）。

　　但是，北京天科合达蓝光半导体的底板在品质上尚不及欧美厂商。微管的存在密度最多达到50个/cm2，比其他公司的产品要多。而且直径也仅为2英寸。因此，该公司决定提高底板直径，于2008年第三委度投产了3英寸底板。

SiC二极管将进入普及价位

　　除了二极管成品率提高、二极管厂商增加之外，从事SiC底板业务的厂商也越来越多，这有望使二极管的价格不断下降。

　　在6英寸底板亮相的话，二极管的价格就会进一步下降。“如果能够采购到高品质的6英寸底板，便可提高生产效率。从而使数A级SiC二极管的价格降至Si二极管的2倍左右”（SiC元件技术人员）。

　　Cree最早将于2009年供应6英寸底板的试制品（图4）。一般来说，底板上市2～3年后品质就会提高。由此来看，数A级SiC二极管的价格有望在2011年前后降至Si二极管的2倍左右（图5）。这一价格水平，也是普及价位空调、通用逆变器装置以及低端PFC电路能够配备的价位注9）。

　　2009年6英寸底板将面世对于SiC底板，业界一直希望能够提高品质、加大直径并降低成本。2007年，几乎没有微管的高品质4英寸底板亮相。而在加大直径方面，早的话2009年6英寸底板即可面世。如果将成品率假定为90％左右，4英寸底板可望获得大约1500个2mm见方的芯片，而6英寸底板则可望获得3300个左右。另外，底板厂商也在不断增加，并且中国厂商也已开始涉足。

　　SiC二极管价格下降，再加上MOSFET的亮相，SiC元件的市场有望扩大。“2～3年前认为SiC元件要到2015年才能普及。不过，仅从SiC二极管受到如此高的关注来看，普及时期估计会提前，快的话将提前到2012年”（功率半导体厂商的市场营销负责人）。

　　混合动力车及电动汽车等电动车辆、太阳能发电及风力发电等分散电源|稳压器系统，以及白色家电及产业设备使用的逆变器等将推动SiC元件市场。因此还有观点认为，“到2015年市场规模将达到8亿美元”