ATMI与SAFC Hitech将共同开拓固态源蒸发系统

日期：2015-02-10

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　　在SEMICON West展会上，ATMI与SAFC旗下的SAFC Hitech宣布，将共同开拓ATMI的一款原子层沉积中的固态源蒸发系统ATMI ProE-Vap。此款创新性的产品在高K/金属栅极量产工艺中受到广泛需求。而两家公司的营销伙伴计划将在半导体及化合物半导体市场上同时展开。

　　“ProE-Vap系统能够成功完成ALD工艺并克服了制造工艺上的难题，”??? ATMI工艺解决方案执行副总裁Tod Higinbotham表示，“与Sigma Aldich合作，能够将ProE-Vap技术推广向更多的客户使其受益，并解决了单一供应源的问题。”

　　合作双方表示，两家公司将共同提供ProE-Vap系统并推广到市场，SAFC主要负责全球化合物半导体市场，而此领域是ATMI之前并未重点关注过的，相信化合物半导体市场将成为ProE-Vap技术新的应用增长点。

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